دستگاه ساخته شده شامل دو عدد مخزن از جنس استنلس استيل 316 بوده و مجهز به سيستم تقطير در خلاء مي باشد كه به صورت غير پيوسته و در مقياس بنچ قادر است آب اكسيژنه 35% را تغليظ نمايد. نحوه آماده سازي و غير فعال سازي سطوح داخلي دستگاه شرح داده شده است. اين دستگاه بهترين وسيله موجود در ايران براي تغليظ آب اكسيژنه است كه بسيار ساده، ارزان و ايمن مي باشد. حجم سيستم تقطير 30 ليتر است كه براي توليد آب اكسيژنه 70% و به ميزان 5 ليتر در ساعت قابل استفاده است. از منو سديم هيدروژن فسفات به عنوان پايداركننده وبه ميزان 03/0% وزني و از نيترات آمونيم به ميزان 3%وزني به عنوان ماده ضد خوردگي استفاده شده است. با غير فعالسازي سطوح داخلي مخازن ، عمليات تغليظ در دو مرحله جداگانه شامل تخليص اوليه و تغليظ صورت مي گيرد. در اين روش آب اكسيژنه با خلوص 35% به روشي بسيار ساده و ايمن به آب اكسيژنه با خلوص 70% تبديل مي شود. روش عملي براي رسيدن به گريدهاي تا 70% وزني آب اكسيژنه مورد بررسي قرار گرفته است.

سيليسيم عنصري غيرفلزي است كه در طبيعت به صورت خالص يافت نمي‌شود. سيليسيم خالص، ماده‌اي سخت به رنگ خاكستري تيره است. اين مادّه مانند فلزات مي‌درخشد. سيليسيم در حرارت بالا با ساير عناصر تركيب مي‌شود. سيليسيم خالص در ساخت‌ پيل‌هاي نوري- برقي، ترانزيستور و ابزارهاي الكترونيكي مورد استفاده قرار مي‌گيرد. با توجه كاربرد فراوان سيليسيم نياز به توليد سيليسيم با كمترين هزينه احساس مي‌شود كه تلاش‌هاي زيادي در اين زمينه انجام شده است. خواص منحصر به فرد و بهبود يافته نانو ذرات به وسيله سايز، ساختار سطح و اثر متقابل بين ذرات تعيين مي‌شود. اين خواص به روش توليد نانو مواد بسيار وابسته هستند. نانو مواد كه شامل نانو كامپوزيت‌ها، نانو سراميكها، نانو كاتاليست‌ها و ساير دسته‌ها هستند از روش‌هاي مختلف توليد مي‌شوند. يكي از اين روش‌ها توليد نانو ذرات به روش CVD مي‌باشد كه در اين پروژه براي توليد نانوذرات سيليسيم مورد استفاده قرار مي‌گيرد. در اين پروژه نانو پودر سيليسيم با روش CVD، توليد شد. از گاز آرگون به عنوان گاز حامل استفاده شد. گاز حامل، بخار تتراكلريد سيليسيم را از محفظه محتوي آن كه در حمام آب گرم قرار داشت، با خود به محفظه واكنش كه شامل يك لوله كوارتز بود كه در كوره تونلي قرار گرفته بود مي‌برد. در محفظه واكنش، پتاسيم در يك قايقك سراميكي تبخير شده و با بخار تتراكلريد سيليسيم كه به همراه گاز حامل وارد محفظه واكنش شده بود واكنش مي‌داد. نهايتاً محصولات واكنش در ظرفي حاوي اتانول خالص جمع‌آوري مي‌شدند. از نمونه‌هاي توليد شده آناليز XRD، FESEM و AAS گرفته شد. اثر دبي گاز حامل نيز بر واكنش و محصولات آن بررسي شد. ديده شد كه با افزايش دبي گاز حامل، اندازه ذرات كاهش و دماي انجام واكنش افزايش مي‌يابد.